关于金属覆盖率

pengyi · 发表于 2024-4-28 13:48:47

请教大家一个问题，为什么layout中对金属覆盖率有要求？覆盖率的高低对性能有什么影响？

weop · 发表于 2024-4-28 13:49:05

你说的是金属密度吧，金属密度一般foundry 都会给出一个范围值得，主要是出于对化学机械研磨（CMP ）的影响考虑

popu · 发表于 2024-4-28 13:50:12

CMP研磨工艺，metal密度不够会造成金属碟化和金属层侵蚀效应，影响研磨效果而造成metal厚度不均匀，影响可靠性。

weop · 发表于 2024-4-28 13:53:05

还有就是密度太高的话，可能会造成过刻蚀，不该刻蚀的被刻蚀掉了，太低又可能造成刻蚀不够，有的没有刻蚀掉

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