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[资料共享] 基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制_姚宗

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发表于 2020-1-14 08:57:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制_姚宗

基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制_姚宗.pdf

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