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阿斯麦ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货

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发表于 2020-10-15 13:18:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
     《科创板日报》14日讯,《科创板日报》记者从ASML获悉,其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格,这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1纳米,并计划于2021年的中期开始发货。
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本文来源:科创板日报


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发表于 2021-1-12 21:19:27 | 显示全部楼层
谁会买,只有tsmc
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